电子厂废气主要成分 电子工业有机废气VOCs的排放，对大气质量、人体健康以及周边生活环境的危害都较大，对该类污染物进行有效控制和治理问题也愈发重要。 电子工业从产品产业链划分，自上而下分为电子整机产品、电子基础产品和电子专用材料三个层次。 其中涵盖： 电子专用材料、半导体器件、电子元件及印制电路板、光电器件和电子终端产品等5个方面。 电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类有30多种，组分复杂。电子工业废气VOCS主要来源于对电子产品的表面涂层工艺环节所用溶剂型涂料和清洗工艺环节所用有机溶剂所致。电子工业废气VOCS常见的种类有：异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。 一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。 挥发性有机物(VOCs
